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中國臺灣漢鐘PS160系列螺桿泵維修PS系列螺桿真空泵 定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點： 1、結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，成本較低，易維修 2、高壓段功耗相對低，適用于高負(fù)載應(yīng)用場合 3、排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積 適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體面板業(yè)制程 PS系列螺桿真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS902、PS1302、PS1802 PD系列螺桿真空泵 高壓段抽速快 能耗可

卡西雅瑪MU100X干泵維修MU-X系列 MU100X:抽速1660L/min，極限壓力1.5pa MU180X:抽速3000L/min，極限壓力1.5pa MU300X:抽速5000L/min，極限壓力0.5pa MU600X:抽速10000L/min，極限壓力0.5pa MU1218X:抽速20000L/min，極限壓力0.5pa MU20N18X:抽速30000L/min，極限壓力0.5pa

Agilent安捷倫IDP-3干式渦旋泵維修IDP-3 單渦輪密封真空干泵 抽速50 Hz： 50 L/min （3m3/h） 極限壓力 3.3*10-1 mbar （2.5*10-1 Torr） 大入口壓力 1.0 個大氣壓 （0 psig） 標(biāo)稱電壓下大出口壓力 1.4 個大氣壓 （6.5 psig）

iH1800愛德華干式泵維修Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。